マスフローコントローラー

プロテリアル製AeraブランドMFCの次世代モデルマスフローコントローラー。高速応答性、ALDプロセスなどで必要とされる高耐久性、バルブ閉止特性、制御範囲、流量精度などの基本機能を改善して時代のニーズにお応えします。

プロテリアル製Aeraブランドのラバーシールタイプのマスフローコントローラー。各種成膜装置や分析装置向けに開発された低価格でありながら基本性能を備えたベーシックモデルです。

プロテリアルAeraブランドのメタルシールタイプのマスフローコントローラー。高精度の流量制御を行うだけでなく、メタルシールによる優れた高い気密性を備え、主要なガス制御アプリケーションに適したベーシックモデルです。

プロテリアル製Aeraブランドのマルチガス・マルチレンジ対応可能デジタルマスフローコントローラー。新センサー・バルブ技術、フィールドで実績のある基幹部品、ならびに高速デジタル回路を搭載して、精密なガスフロー制御を実現します。

プロテリアル製AeraブランドのPI(Pressure Insensitive)機能を搭載したマスフローコントローラー。急激な圧力変動の影響を除去することで安定した流量制御を実現、リアルタイムプロセス制御において優れた性能を発揮するハイエンドMFC。

プロテリアル製マスフローコントローラー(SAM MFC、Aera MFC)の修理受付はこちらから。その他周辺機器とあわせなんでもご相談ください。

不適合発生の際は、本トラブルシューティングを参照の上、対処をお願いします。それでも改善に至らない場合は修理依頼書をダウンロード頂き、必要事項をご記入後、弊社までお問い合わせ下さい。

プロテリアル製のマスフローコントローラーは歴史ある2つのブランドにてシリーズを展開しております。弊社はその両ブランドを取り扱うプロテリアル製マスフローコントローラーの代理店です。

マスフローコントローラーとは、流体の特性を利用して流量信号を得る質量流量計のこと。詳しい構造や、動作原理についてご説明します。