高分解能＆高速応答を実現したハイクラスマスフローのベストセラー
Ni-Co合金を使用した波形メタルダイヤフラムは接ガス部に一切の摺動部品を持たない理想的なクリーンバルブ、サーマルセンサー方式を採用、SAMブランドで培ってきた伝統を継承し、更なる進化をとげたオンリーワンのマスフローコントローラーです。
高温タイプ80℃、超高温タイプ150℃のラインアップ※がございます。
特長
- マルチガス・マルチレンジ
- サーマルセンサー方式
- ピエゾバルブアクチュエータ
- 高分解能＆高速応答
- 100％メタルシール・高純度設計
- 高温タイプ80℃、超高温用タイプ150℃対応可能※
- DeviceNet、RS-485、アナログ制御対応
- RoHS適合
※高温タイプ80℃、超高温タイプ150℃はMFC本体と回路部が分離となります。