半導体洗浄の薬液供給に最適 長野計器KL92 薬液対応圧力センサ 各種継手メーカーに対応　日本ピラー、フローウエル、インテグリス

長野計器KL92は、フッ素樹脂ダイアフラムシール式の薬液対応圧力センサです。

Oリングレス構造の採用でコンタミの発生、金属溶出が少なく、半導体製造装置分野の圧力監視用途に対応します。

特長

• 接液部はオールフッ素樹脂製（PFA、PTFE）で、コンタミの発生が少ない構造。フッ酸等の腐食性薬液に対しても耐性が向上。
• ケース保護構造IP54　小型、樹脂ボディでウェットステーション用途の要望に応えました。