200℃までの計測に対応！
半導体製造プロセスの高温用途に対応した圧力センサ
特長
200℃の高温計測
新規開発の圧力センサ素子を搭載し、200℃計測に対応
高精度な高温計測を実現
温度特性
ZERO：±1.0% F.S.
SPAN：±3.0% F.S.
（温度補償範囲 15～200℃）
測定ガスの滞留を最小限に抑制
- ガス供給系に適した溶接構造
- 圧力センサ：ハステロイC-22相当のUHPグレードをラインアップ
- 特殊表面処理技術
ZT17_200℃対応 半導体産業用 高温用圧力センサ
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